ההבדל בין PVD ו- CVD

PVD vs CVD | CVD ציפוי ציפוי PVD

PVD ו CVD הן טכניקות ציפוי, אשר ניתן להשתמש בהם להפקיד סרטים דקים על מצעים שונים. ציפוי של מצעים חשוב בהזדמנויות רבות. ציפוי יכול לשפר את הפונקציונליות של המצע; להציג פונקציונליות חדשה על המצע, להגן עליו מפני כוחות מזיקים חיצוניים, וכו 'אז אלה הן טכניקות חשובות. שני התהליכים חולקים מתודולוגיות דומות, למעט כמה הבדלים; לכן, הם משמשים במקרים שונים.

-> ->

מהו PVD?

PVD או בתצהיר אדי פיזית היא בעיקר טכניקת ציפוי אידוי. תהליך זה כולל כמה צעדים. התהליך כולו נעשה בתנאי ואקום. ראשית, חומר מבשר מוצק מופגז עם קרן אלקטרונים, כך שהוא ייתן אטומים של החומר הזה. אטומים אלה מועברים לחדר המגיב שבו מצע ציפוי. בעת הובלה, אטומים יכולים להגיב עם גזים אחרים כדי לייצר חומר ציפוי או אטומים עצמם יכולים להיות חומר ציפוי. ואז הם להפקיד על המצע עושה מעיל דק. ציפוי PVD משמש כדי להפחית את החיכוך, או כדי לשפר את עמידות החמצון של חומר או כדי לשפר את הקשיות, וכו '

-> ->

מהו CVD?

CVD או בתצהיר אדי כימי היא שיטה להפקיד מוצק טופס סרט דק מחומר בשלב גזי. שיטה זו דומה במקצת לתצהיר אדי פיזי. ישנם סוגים שונים של CVD כגון, CVD לייזר, CVD פוטו, CVD לחץ נמוך, מתכת CVD אורגני, וכו 'ב CVD, חומר מצופה על חומר המצע. כדי לעשות את זה ציפוי, החומר ציפוי נשלחת לחדר התגובה בצורה של אדי בעל טמפרטורה מסוימת. ואז בתא התגובה, הגז מגיב עם המצע, או שהוא מפורק ומופקדים על המצע. אז במנגנון CVD צריך להיות מערכת אספקת גז, להגיב קאמרית, המצע טעינת מנגנון ספק אנרגיה. חוץ מזה, התגובה מתבצעת בחלל ריק כדי להבטיח כי אין גזים אחרים מאשר הגז המגיב. טמפרטורת המצע היא קריטית לקביעת התצהיר; ולכן, צריך להיות דרך לשלוט על הטמפרטורה והלחץ בתוך המנגנון. לבסוף, המנגנון צריך להיות דרך להסיר את עודף פסולת גזי. החומר ציפוי צריך להיות נדיף, באותו זמן יציב כדי להיות מומרים לשלב גזי ולאחר מכן מעיל על המצע. Hydrides כמו SiH4, GeH4, NH3, הלידים, carbonyls מתכת, alkyls מתכת, אלקוקסידים מתכת הם חלק מבשרי. טכניקה CVD משמש לייצור ציפויים, מוליכים למחצה, מרוכבים, nanomachines, סיבים אופטיים, זרזים, וכו '

-> ->

מה ההבדל בין PVD ו CVD? • ב PVD, את החומר כי הוא הציג על המצע הוא הציג בצורה מוצקה ואילו, ב- CVD, הוא הציג בצורה גזי. • ב- PVD, אטומים נעים ומניחים על המצע, אך ב- CVD, המולקולות הגזיות יגיבו עם המצע. • הטמפרטורות בתצהיר של PVD ו CVD שונים. ציפוי PVD מופקד בטמפרטורה נמוכה יחסית (סביב 250 מעלות צלזיוס ~ 450 מעלות צלזיוס) מאשר CVD (CVD משתמש בטמפרטורות גבוהות בטווח של 450 OC ל 1050 OC). • PVD מתאים לציפוי כלים המשמשים יישומים הדורשים חיתוך קצה קשה. CVD משמש בעיקר להפקדת ציפוי מגן מתחם.